2月23日，德国沉积设备供应商爱思强宣布，华灿光电订购了其AIX 2800G4-TM 和 AIX G5+ C 两款MOCVD设备，用于开发Micro LED显示技术。

　　爱思强表示，市场对RGB自发光Micro LED的需求开始强势增长，为此，华灿光电将使用爱思强的行星式反应器平台来满足新兴市场对Micro LED显示屏的需求。本次华灿光电订购的 AIX 2800G4-TM （IC2） 和 AIX G5+ C 型号MOCVD设备都将采用 8x6 英寸的配置，设备已于2021年第四季度发货。

　　爱思强指出，华灿光电所处的Micro LED技术领域是一个强大的新兴市场，也是显示行业的游戏规则改变者。与现有显示技术相比，Micro LED技术可实现无与伦比的像素分辨率、卓越的显示质量和更高的电流效率。为了实现这些优势，下一代LED显示屏需要将数百万微米级的LED转移到一个显示屏上，这使得新型转移技术的开发迫在眉睫。

　　AIX 2800G4-TM,AIX G5+C

　　据了解，爱思强一直致力于研发助力Micro LED量产的MOCVD设备。其指出，MOCVD作为外延技术的核心设备，也需要不断创新以满足Micro LED规模化量产的需求，具体来说，所有外延片必须具有非常紧密的波长分布和极低的表面缺陷水平。

　　而爱思强的行星式反应器平台在外延过程中可对薄膜表面温度进行晶圆级控制，精准控制铟与多量子阱（MQW）的融合，帮助实现更好的波长均匀性。同时，C2C自动卡匣晶圆传输技术与原位清洁技术相结合，可确保在处理过程或外延制处理过程中没有颗粒污染薄膜。

　　对于此次合作，华灿光电首席执行官周建辉博士表示"在过去的 15 年里，爱思强一直是我们值得信赖的 MOCVD 解决方案合作伙伴。我们很高兴现在加强了与爱思强在Micro LED产品领域的合作。爱思强的行星式反应器平台已被证明具有最佳的均匀性和低颗粒性能，相信这是 Micro LED 商业化关键的一步，有助于巩固华灿光电在显示市场的领先地位。"

　　爱思强首席执行官兼总裁 Felix Grawert 博士则表示"我们很高兴华灿光电作为Micro LED市场的主要参与者，选择了我们的 AIXG5+ C 和 AIX2800G4-TM 系统来进一步开发 Micro LED 生产工艺。我们期待Micro LED显示产品的加速推出。"